低温等离子废气处理是一种利用等离子体技术处理废气的工艺。其主要工作原理如下：

1、气体进入反应室：废气首先通过管道进入反应室，在进入反应室之前可能需要进行预处理，例如除尘、除湿等。

2、产生等离子体：在反应室内，通过电极产生高电压电场，使得气体分子发生电离和激发，形成等离子体。等离子体是由带正电荷的离子和带负电荷的电子组成的高能粒子云。

3、氧化反应：等离子体中的带正电荷的离子和带负电荷的电子与废气中的有机物、无机物等发生碰撞，引发氧化反应。这些反应会将废气中的有害物质转化为无害的水和二氧化碳等。

4、脱除废气：经过氧化反应后，废气中的有害物质被转化为无害的物质，然后经过排气管道排出系统。

5、辅助处理：在实际应用中，可能需要辅助处理一些特定的废气成分。例如，通过添加催化剂、吸附剂等物质，可以进一步提高废气处理效率。

低温等离子废气处理的主要特点是操作温度相对较低(一般为室温至几百摄氏度)，相比传统的高温等离子体处理方法具有能耗低、处理效率高、设备结构简单等优势。因而被广泛应用于废气处理、空气净化、有机废气回收等行业领域。